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詳細介紹
深圳奕帆科技銀色固定式氙氣在線檢測儀，適配半導體晶圓制造、芯片蝕刻、真空鍍膜、電子特種氣體輸送管路監測場景，一體化銀色壓鑄鋁防爆外殼質感光潔，陽極氧化工藝隔絕腐蝕性工藝氣體、潔凈車間粉塵，IP65 防塵防水防護等級，潔凈車間、負壓工藝間均可穩定安裝使用。
針對半導體車間多稀有氣體共存工況，設備搭載定制化熱導氙氣傳感模組，專屬濾波算法屏蔽氬氣、氦氣、氪氣、工藝有機廢氣干擾，氙氣檢測量程可按需定制 0-100ppm、0-100% VOL 多規格，低濃度微量泄漏、高濃度管路泄漏均可精準量化，測量重復性≤2%，長期連續運行數據漂移極小，保障半導體車間工藝氣體安全管控。
設備整機結構精簡，壁掛、立柱兩種安裝方式可選，配套防爆安裝支架，車間吊頂、設備管路旁、氣瓶柜內部均可靈活固定；插拔式獨立傳感器模塊，半導體產線輪班運維人員可快速更換校準，無需停機拆解整套設備，有效縮短產線停工時長。機身高清 LCD 屏幕中文界面顯示，實時刷新氙氣濃度數值、設備故障代碼、高低報警狀態，綠色正常、黃色預警、紅色超標三色指示燈區分工作狀態，車間巡檢人員遠距離即可直觀判斷設備運行情況。
紅外遙控免開蓋操作，無塵潔凈車間無需頻繁拆卸設備外殼，遠程一鍵完成校準、參數修改，避免拆卸帶入粉塵污染車間環境。電氣系統采用工業 DC24V 寬壓供電，適配車間自動化配電系統；內置三路繼電器聯動輸出，氙氣泄漏超標后同步啟動聲光報警、自動切斷氙氣供氣電磁閥、開啟車間局部排風系統，及時消除泄漏安全隱患。
通訊接口集成 4-20mA 模擬量與 RS485 標準 Modbus 協議，可直接接入半導體工廠中控 DCS 系統、上位機監控軟件，全廠各工藝點位氙氣監測數據統一匯總、存儲、曲線追溯，支持超標數據自動記錄存檔，滿足半導體行業環保、安全生產臺賬審核要求。設備內置防靜電、抗電磁干擾電路，隔絕車間大功率設備、射頻儀器電磁干擾，數據無亂跳、無誤報警；奕帆半導體電子車間專用氙氣檢測儀廠家支持功能定制，可加裝無線 4G/LoRa 傳輸模塊，實現遠程云端監控、手機短信報警推送，免費提供技術指導、產線點位方案設計、終身技術咨詢服務。
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