深圳奕帆科技固定式法蘭款氬氣在線檢測(cè)儀，深度適配半導(dǎo)體晶圓真空鍍膜生產(chǎn)線工藝管道法蘭監(jiān)測(cè)點(diǎn)位，一體化標(biāo)準(zhǔn)法蘭安裝結(jié)構(gòu)可直接對(duì)接真空鍍膜機(jī)氬氣進(jìn)氣管道，法蘭密封結(jié)構(gòu)適配真空微負(fù)壓工況，有效解決半導(dǎo)體車間鍍膜工藝氬氣供給濃度實(shí)時(shí)管控難題，保障芯片鍍膜生產(chǎn)穩(wěn)定性。

設(shè)備核心采用進(jìn)口高精度熱導(dǎo)氬氣專用傳感器，針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)高純度氬氣檢測(cè)需求優(yōu)化，量程支持 90%-99.999% VOL 高純氬氣檢測(cè)，分辨率低至 0.001% VOL，可精準(zhǔn)捕捉鍍膜管道內(nèi)氬氣微小濃度變化，避免氬氣純度不達(dá)標(biāo)造成晶圓鍍膜瑕疵、芯片報(bào)廢，大幅降低半導(dǎo)體企業(yè)原材料損耗。整機(jī)電路采用 32 位超低功耗工業(yè)級(jí)處理器，搭載全量程溫濕度智能補(bǔ)償算法，即使半導(dǎo)體車間恒溫恒濕環(huán)境出現(xiàn)微小波動(dòng)，依舊保持測(cè)量數(shù)值長(zhǎng)期穩(wěn)定，零點(diǎn)自動(dòng)跟蹤功能減少月度校準(zhǔn)工作量，適配半導(dǎo)體車間 24 小時(shí)不間斷連續(xù)生產(chǎn)需求。

設(shè)備外殼采用耐腐蝕鑄鋁防爆殼體，防爆等級(jí) Ex d IIC T6，IP67 防塵防潮防護(hù)，耐受半導(dǎo)體車間潔凈車間輕微水汽、潔凈試劑微量蒸汽腐蝕，無(wú)粉塵堆積死角，符合半導(dǎo)體潔凈車間設(shè)備使用規(guī)范。2.5 英寸高清工業(yè)彩屏，支持中英文雙語(yǔ)切換，就地直觀顯示氬氣純度、管道環(huán)境溫濕度、設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)、故障代碼，配套紅外遙控操作，潔凈車間內(nèi)無(wú)需接觸設(shè)備即可完成報(bào)警值設(shè)定、傳感器標(biāo)定，避免人為接觸造成車間潔凈度污染。

信號(hào)傳輸方面，設(shè)備標(biāo)配 4-20mA 模擬量與 RS485 Modbus-RTU 數(shù)字信號(hào)雙輸出，適配半導(dǎo)體廠房中控 PLC、DCS 自動(dòng)化控制系統(tǒng)，兩組無(wú)源繼電器可聯(lián)動(dòng)氬氣供氣調(diào)節(jié)閥、潔凈區(qū)通風(fēng)系統(tǒng)、聲光報(bào)警裝置，一旦管道氬氣純度低于工藝標(biāo)準(zhǔn)或出現(xiàn)氣體泄漏，設(shè)備立即聲光報(bào)警并自動(dòng)聯(lián)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，快速處置異常工況，保障芯片生產(chǎn)線安全穩(wěn)定運(yùn)行。

設(shè)備內(nèi)置大容量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊，自動(dòng)留存濃度、報(bào)警、設(shè)備運(yùn)維記錄，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出歸檔，滿足半導(dǎo)體企業(yè)安全生產(chǎn)、潔凈車間環(huán)保合規(guī)審核要求。模塊化傳感器設(shè)計(jì)，5 年超長(zhǎng)使用壽命，后期維護(hù)僅需單獨(dú)更換傳感模組，無(wú)需整機(jī)返廠，降低半導(dǎo)體企業(yè)運(yùn)維成本。

奕帆半導(dǎo)體真空鍍膜專用氬氣檢測(cè)儀廠家可定制法蘭規(guī)格、高純氬氣專用量程、潔凈車間專用無(wú)油過(guò)濾配件，全套設(shè)備提供防爆合格證、CPA 計(jì)量認(rèn)證，全國(guó)提供潔凈車間上門安裝調(diào)試、年度校準(zhǔn)、終身技術(shù)支持服務(wù)，是半導(dǎo)體真空鍍膜高純氬氣管道法蘭監(jiān)測(cè)專用儀器。

奕帆半導(dǎo)體真空鍍膜專用氬氣檢測(cè)儀廠家