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深圳奕帆科技固定式紅色款氬氣檢測儀,是半導體晶圓潔凈車間高純氬氣輸送管道、氣體柜、工藝腔體專用在線監測設備,整機一體化集成高亮紅色聲光報警裝置,潔凈室柔和燈光環境下紅色警示燈辨識度,一旦氬氣微量泄漏即刻高分貝蜂鳴 + 紅光閃爍雙重預警,保障微電子無塵車間人員與精密設備安全。
設備整機采用輕量化防爆鋁合金機身,外層啞光紅色防腐涂層,無掉漆、無粉塵脫落,不會污染潔凈車間無塵環境,整機通過 Ex d ⅡCT6 防爆認證、CPA 計量器具認證、CE 歐盟出口認證,滿足半導體工廠嚴苛安規與環保檢測驗收標準,可長期在 Class1000 無塵潔凈區穩定運行。
核心傳感單元選用進口高純度熱導傳感器,針對 99.999% 高純氬氣純度檢測優化調校,檢測量程支持 0-100% Vol 全量程定制,檢測誤差控制在 ±1.5% F.S 以內,分辨率高達 0.001% Vol,可精準識別管道內氬氣純度波動與微小泄漏,避免高純工藝氣體泄漏造成晶圓加工報廢、車間缺氧安全隱患。
機身配置 2.8 寸工業高清觸控彩屏,潔凈室人員可直觀查看實時氬氣濃度、氣體純度、設備自檢狀態、高低兩級報警記錄,配套紅外無線遙控器,全程免開蓋操作,無塵車間無需打開設備外殼即可完成校準、參數設置,杜絕粉塵進入設備內部影響檢測精度。
通訊輸出兼容 RS485 數字總線與 4-20mA 模擬信號,可接入半導體工廠 DCS 中控系統、潔凈室環境監控平臺,實時上傳 24 小時連續監測數據,設備自帶數據存儲功能,可自動留存 30 天濃度曲線與報警記錄,便于環保、安監日常數據溯源核查。
設備標配流通式管道氣室,適配 1/4、3/8 工業高純氣管路對接,同時支持壁掛擴散式安裝,可靈活布置在氬氣供氣柜、刻蝕機、沉積設備周邊,IP66 高防護等級,防潮、防塵、抗潔凈室循環氣流干擾,內置多級濾波算法,消除潔凈室氣流、溫濕度波動帶來的數據漂移,全天候穩定輸出精準檢測數值。
奕帆半導體潔凈室高純氬氣檢測儀廠家可根據半導體行業需求定制專屬量程、潔凈室專用無揚塵外殼、無線 LORA 遠程傳輸模塊,整機出廠完成 72 小時高低溫老化測試,24 個月整機質保,配備專業微電子行業技術工程師上門安裝調試,適配芯片制造、光伏硅片、電子元器件封裝等全產業鏈潔凈車間氬氣監測場景。
奕帆半導體潔凈室高純氬氣檢測儀廠家
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